在線臭氧分析儀主要由低壓紫外燈、入射紫外光反射器、光波過濾器、臭氧吸收池、采樣光電傳感器、樣品光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。在這個臭氧濃度計算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們就可以計算出臭氧濃度大小。由于臭氧吸收池的距離的限制，大臭氧濃度只能測到300O3g/m。
 

　　在線臭氧分析儀的工作原理時通過空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統時，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌除器再進入吸收池，此時臭氧對254nm波長的紫外光有特征吸收。當零空氣樣品通過吸收池時被光度檢測器測定的光強度為I0；那么含臭氧的空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為I。如此每經過一個循環周期，儀器的數據處理系統根據朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度。
 

　　在線臭氧分析儀臭氧檢測中應注意事項：
 

　　1。采樣管材料應選用抗強氧化的材料，如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯；不銹鋼材料也盡量少用，以減少采樣管中臭氧損耗。
 

　　2。采樣管應盡量短，測量低濃度時一般不要超過2m。
 

　　3。從采樣管到檢測儀器，不要漏氣，否則測量值偏低。
 

　　4。檢測較低濃度(如檢測環境)臭氧時，新的聚四氟乙烯管也要充分的進行“臭氧化”，即通過含較高濃度臭氧的氣體來穩定采樣管內壁。
 

　　5。采樣管要定時清洗、吹干。不清潔的采樣管會使測量值偏低很多。
 

　　6。在線臭氧分析儀要定時進行標定，以保證測量數據可靠。